アーカイブ:2022年 3月

  1. 【ウェハ】目標膜厚3μmに対して膜厚分布±3-5%以下を実現。硫酸銅めっき実験結果例

    多くの大学や研究機関で導入いただいている当社のシリコンウェハ用めっき装置ですが、ここでは実際に装置を使用し行った実験のデータをご紹介します。今回は8inch用の標準ウェハ用めっき装置を使用し、目標膜厚は3μmで実験を行いました。

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技術資料カテゴリ

  1. ハルセル

    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等
  2. 応力測定器

    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計
  3. 均一電着性試験器

    ハーリングセル、ベントカソード
  4. 分析器

    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター
  5. ウェハめっき装置

    ウェハ水槽、治具、両面めっき用
  6. バレルめっき装置

    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール
  7. めっき装置

    ビーカーサイズから20Lまでのめっき装置セット
  8. 電源

    アナログタイプやPC制御タイプ  
  9. ろ過器

    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ
  10. 揺動装置

    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー
  11. 水槽

    様々なサイズ・材質があります
  12. ヒーター・温度調節器

    小型ヒーター CE対応温度調節器
  13. 止具・治具

    水槽止具、引掛治具、クリップ、ブスバー
  14. 極板・アノードバック

    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等
  15. 筆めっき

    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
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