ウェハ
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ウェハ用めっき実験装置に関するよくあるご質問
このページでは当社のウェハ用めっき実験装置に関するよくあるお問合せをご紹介します。仕様についてQ. 山本鍍金試験器のウェハ用めっき実験装置の精度はどれくらいですか?A. 8inch硫酸銅めっきでの膜厚分布の実験で、膜厚バラツキ±3-5%以下の実験結果がございます。
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【ウェハ】目標膜厚3μmに対して膜厚分布±3-5%以下を実現。硫酸銅めっき実験結果例
多くの大学や研究機関で導入いただいている当社のシリコンウェハ用めっき装置ですが、ここでは実際に装置を使用し行った実験のデータをご紹介します。今回は8inch用の標準ウェハ用めっき装置を使用し、目標膜厚は3μmで実験を行いました。
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