シリコンウェハ用めっき実験装置

2面オーバーフロータイプで、約2倍の撹拌速度を実現

■特長
・オーバーフローを1面から2面にすることで、パドル撹拌の速度が最大130rpmまで上がりました。液の撹拌効率が高まりより安定しためっきが可能になります。

※現在受注生産品です。サイズや仕様はお手数ですがお問い合わせください。
※めっきの種類やサイズによって、3面オーバーフローをご提案することがあります。

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シリコンウェハ用両面めっき実験装置

流量と流速の改善で撹拌が安定

2021年より販売しているウェハ用両面めっき装置のろ過装置を改良したことにより、流量と流速が増加しました。これにより、液の循環がさらにスムーズになり、めっき液の撹拌が安定しました。

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スマートセル 500G（Model-500G）

ポンプもヒーターも不要。高温やイオン液体対応のガラス製スマートセル

■特長
・省スペース: ポンプを使わず、マグネチックスターラーでオーバーフロー循環するので限られたスペースでも実験できます。
・蒸発による液面の変化にも対応: オーバーフロー撹拌をすることで蒸発等による液面高さ変動を抑え、安定した電流分布やめっき面積の維持が可能です。
・ヒーター不要:　外槽にガラス、撹拌機構部分にフッ素樹脂を使用することで、ホットスターラーを利用した加熱が可能です。
・特殊な薬液に対応: ガラス製なのでイオン液体など従来の樹脂槽では使用が難しかった薬液を用いた実験ができます。
・お手入れカンタン: 水槽内部の撹拌機構は簡単に取り外しもできるので、お手入れも簡単にできます。
・特注OK: 標準サイズだけでなくご要望に合わせたサイズの他、SUS素材などでも製作可能です。電気めっき、無電解めっきの他非水溶媒での実験にも使用できます。

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ゆりかごバレル（B-75DW)

半回転運動で変形抑止

１回転せず、ドラムがゆりカゴのように動く半回転運動によって、めっき対象物を転がし混合させるバレルです。

■特長
・半回転させることで、絡まわりをほぐしめっき対象物の変形が抑えられる効果が期待できます。
・特注にて、メッシュのサイズが変えられます。

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SS-1用筆ペン型含浸材（A-43-SS-1-P03）

より細かい部分の作業が可能に

筆具を使用する時にめっき液を含ませる含浸材を、従来の脱脂綿からペン先状の筆先チップへと材質変更しました。筆具SS-1の白金に差して使用します。

■特長　
・脱脂綿よりも均等にめっき液が行き渡るので、より細かい作業を行うのに適しています。

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シリコンウェハ用陰極カートリッジ【標準型高電流タイプ】（A-52-STH*-P02A）

■特長
・一般的な厚さのウェハに適しています。（200μm 以上） 
・高速めっき等、通常よりも高めの電流密度設定が可能。
・全面めっきで全電流を大きくしたい場合に適しています。
・電極リングの接点（面接点）にもめっきが析出します。
・定期的に接点部めっき皮膜の剥離が必要です。
 ※ウェハサイズは、JEITA およびSEMI 規格に合わせて製作しております。角型タイプも製作いたします。

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ハルセル(6価クロム用水槽) MODEL-w 耐熱塩化ビニール製

6 価クロムめっき専用のハルセルにヒーター取付可能に

激しく温度が上昇する6 価クロムめっき専用のハルセルです。
1L 角型水槽内に、穴あきハルセルが固定されています。
温度ヒューズ付のヒーター（B-58-WJB-Cr/B-58WB-Cr）を取付けられます。

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