ウェハ用両面めっき装置

2021新製品

ウェハの両面めっき装置です(TSV、TSG 等)。
・φ2 ~8inch または50 ~ 200mm 角の角型サンプルにめっき可能です。
・ウェハ両面を1 台のパドル撹拌装置にて撹拌します。
・CE マーキングにも対応します。

本製品は特注品となります。お客様の仕様に合わせて製作いたします。

セット例

 カテゴリ 製品名 個数
水槽 ウェハ用両面めっき水槽 1
治具 両面めっき用陰極カートリッジ(標準タイプ/密閉型/吸引式密閉型) 1
陽極ホルダー 2
ヒーター ヒーターAC100V/100,300,500W  
電源 ウェハ用精密めっき電源(YPP15031WA/15100WA) 1
エアーポンプ エアーポンプ(M202/10L水槽用) 1
パドル撹拌装置 両面めっき用パドル撹拌装置(AC100V,100-120V,200-240V) 1
フィルター ミニミニフィルター(20APFA/40APFA) 1
  リード線 1
  エアーフィルター 1

 

 

製品カテゴリ


  1. めっき用分析器
    めっき液の成分分析装置 ボーメも

  2. めっき用試験器
    ハルセル 応力計など電着試験装置

  3. 実験および少量生産装置
    水槽と付帯設備のセット

  4. バレル
    水平式・傾斜式 最少はてのひらサイズから

  5. 水槽
    様々なサイズ・材質があります

  6. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター CE対応温度調節器

  7. ろ過・撹拌装置
    水槽に合わせた小型ろ過器

  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ  

  9. 揺動装置(カソードロッカー)
    アナログタイプやPC制御タイプ  

  10. 治具
    引掛治具 チタンクリップ

  11. 陰極・陽極
    様々なサイズ・種類あり

  12. 筆めっき
    修復など部分めっき

  13. その他
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