ウェハ用両面めっき装置

2021新製品

ウェハの両面めっき装置です(TSV、TSG 等)。
・φ2 ~8inch または50 ~ 200mm 角の角型サンプルにめっき可能です。
・ウェハ両面を1 台のパドル撹拌装置にて撹拌します。
・CE マーキングにも対応します。

本製品は特注品となります。お客様の仕様に合わせて製作いたします。

セット例

 カテゴリ 製品名 個数
水槽 ウェハ用両面めっき水槽 1
治具 両面めっき用陰極カートリッジ(標準タイプ/密閉型/吸引式密閉型) 1
陽極ホルダー 2
ヒーター ヒーターAC100V/100,300,500W  
電源 ウェハ用精密めっき電源(YPP15031WA/15100WA) 1
エアーポンプ エアーポンプ(M202/10L水槽用) 1
パドル撹拌装置 両面めっき用パドル撹拌装置(AC100V,100-120V,200-240V) 1
フィルター ミニミニフィルター(20APFA/40APFA) 1
  リード線 1
  エアーフィルター 1

 

 

製品カテゴリ

  1. ハルセル

    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等
  2. 応力測定器

    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計
  3. 均一電着性試験器

    ハーリングセル、ベントカソード
  4. 分析器

    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター
  5. 実験および少量生産装置

    ビーカーサイズから20Lまでのめっき装置セット
  6. バレルめっき装置

    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール
  7. 電源

    アナログタイプやPC制御タイプ  
  8. ろ過器

    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ
  9. 揺動装置

    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー
  10. 水槽

    様々なサイズ・材質があります
  11. ヒーター・温度調節器

    小型ヒーター CE対応温度調節器
  12. 止具・治具

    水槽止具、引掛治具、クリップ、ブスバー
  13. 極板・アノードバック

    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等
  14. 筆めっき

    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
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