A-52-STD ウェハ用両面めっき装置

ウェハの両面めっき装置です（TSV、TSG 等）。一度に2面のめっき処理が可能です。

・φ2 ～８inch または50 ～ 200mm 角の角型サンプルにめっき可能です。
・ウェハ両面を1 台のパドル撹拌装置にて撹拌します。
・CE マーキングにも対応します。

本製品は特注品となります。お客様の仕様に合わせて製作いたします。

セット例

　カテゴリ 製品名 個数
水槽 ウェハ用両面めっき水槽 1
治具 両面めっき用陰極カートリッジ（標準タイプ/密閉型/吸引式密閉型） 1
陽極ホルダー 2
ヒーター ヒーターAC100V/100,300,500W 　
電源 ウェハ用精密めっき電源（YPP15031WA/15100WA） 1
エアーポンプ エアーポンプ（M202/10L水槽用） 1
パドル撹拌装置 両面めっき用ﾊﾟﾄﾞﾙ撹拌装置（AC100V,100-120V,200-240V） 1
フィルター ミニミニフィルター(20APFA/40APFA) 1
　 リード線 1
　 エアーフィルター 1

 

 

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製品カテゴリ

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  2. 応力測定器
    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計

  3. 均一電着性試験器
    ハーリングセル、ベントカソード

  4. めっき液分析器
    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター

  5. ウェハめっき装置
    ウェハ水槽、治具、両面めっき用

  6. バレルめっき装置
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  7. 小型めっき装置
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  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ

  9. ろ過器
    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ

  10. 揺動装置
    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー

  11. 水槽
    様々なサイズ・材質があります

  12. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター、CE対応温度調節器

  13. 止具・治具
    水槽止具、引掛治具、クリップ
    ブスバー

  14. 極板・アノードバック
    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等

  15. 筆めっき
    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
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