A-52-ST-EL ウェハ用無電解めっき装置

シリコンウェハ上に無電解めっきを行う装置です。1枚～複数枚のウェハを回転させながら上下に揺動させてめっきします。
回転速度と上下揺動速度はそれぞれ調節できます。

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    アナログタイプやPC制御タイプ　　

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  11. 陰極・陽極
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  13. その他
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