ウェハ用めっき装置
A-52-ST-EL ウェハ用無電解めっき装置
シリコンウェハ上や板状サンプルに無電解めっきを行う装置です。1枚~複数枚のウェハを回転させながら上下に揺動させてめっきします。
回転速度と上下揺動速度はそれぞれ調節できます。洗浄工程等めっき以外の用途にもお使いいただけます。
セミカスタマイズ製品なのでサンプル形状や大きさ、一度に処理したい枚数などをお知らせください。
*受注生産品
*詳細はお問い合わせ下さい
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