A-52-ST-EL ウェハ用無電解めっき装置

シリコンウェハ上に無電解めっきを行う装置です。1枚～複数枚のウェハを回転させながら上下に揺動させてめっきします。
回転速度と上下揺動速度はそれぞれ調節できます。

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製品カテゴリ


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  4. バレル
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  5. 水槽
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  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ　　

  9. 揺動装置（カソードロッカー）
    アナログタイプやPC制御タイプ　　

  10. 治具
    引掛治具　チタンクリップ

  11. 陰極・陽極
    様々なサイズ・種類あり

  12. 筆めっき
    修復など部分めっき

  13. その他
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