A-52 シリコンウェハ用めっき実験装置セット

2~12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。
専用の治具を使用することで、半導体・MEMS・マイクロマシンの精密なめっきが行なえます。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造で、直接の撹拌にはパドル撹拌を利用します。
シリコンウェハだけでなくSiC、ガラス,GaAs,InP等の素材の基板へもお使いいただけます。
生産設備としてもご利用いただけます。
(国内外で特許数件取得済み、他数件出願中)

標準サイズは2~12inchになりますが、ご要望により各種ご希望の装置を製作致します。(完全密閉型と非密閉型治具・水平式等があります)。 

*PCは別売りです

▼ウェハめっき装置の動画はこちら

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製品カテゴリ


  1. めっき用分析器
    めっき液の成分分析装置 ボーメも

  2. めっき用試験器
    ハルセル 応力計など電着試験装置

  3. 実験および少量生産装置
    水槽と付帯設備のセット

  4. バレル
    水平式・傾斜式 最少はてのひらサイズから

  5. 水槽
    様々なサイズ・材質があります

  6. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター CE対応温度調節器

  7. ろ過・撹拌装置
    水槽に合わせた小型ろ過器

  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ  

  9. 揺動装置(カソードロッカー)
    アナログタイプやPC制御タイプ  

  10. 治具
    引掛治具 チタンクリップ

  11. 陰極・陽極
    様々なサイズ・種類あり

  12. 筆めっき
    修復など部分めっき

  13. その他
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