実験及び少量生産装置
A-53-ST01WB マイクロセル W 型シリコンウェハ用セットYTC300

アクリル樹脂製の小型めっき実験用水槽です。
底部にヒーターを組み込んで、加温やエアー撹拌も可能です。シリコンウェハのチップへのめっきや、バンプめっき等の基礎実験に最適です。ウェハーチップ用治具が標準となります。
※ 水槽容量 M1:300mL, M2:500mL, M3:1000mL
セット内訳
(マイクロセルIw型の場合)
A-53-M1-P01W-1 | マイクロセル(Ⅰw)水槽 |
A-53-M1-P05WA | マイクロセルⅠw/Ⅱw 用ヒーター温度ヒューズ付WA型(DC48V,50W) |
B-93-YTC300 | 温度調節器(300W)YTC300 (AC100-230V, 300W) |
A-57-15030-P01 | 超精密電源(3A)用リード線(黒1赤1クリップはチタン製) |
A-55-PCR200BWA1 | パドルカソードロッカー200BWA(B-75-P16Aコントローラー付) |
A-53-M1-P06-1015 | マイクロセルⅠⅡⅢ共通陰極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く |
A-53-M1-P06-K1 | マイクロセル(Ⅰ)用陰極治具用ブスバー(10×15mm試験片用) |
A-53-M1-P07-1015 | マイクロセルⅠⅡⅢ共通陽極治具(10×15mm試験片用)ブスバーを除く |
A-53-M1-P07-K1 | マイクロセル(Ⅰ)用陽極治具用ブスバー(10×15mm試験片用) |
※YPPシリーズの電源をご購入の場合は温度調節機能/リード線が電源に付属します。
※ エアーポンプと陽極板は別売品です。
※めっき液販売しております。液量1L~ (B-89-EP 参照)
2020年5月1日 セット内訳変更いたしました。セットよりブスバー・保持具・ピンセットを除きました。