ウェハ用めっき装置
A-53-ST01WB マイクロセル W 型シリコンウェハ用セットYTC300
アクリル樹脂製の小型めっき実験用水槽です。
底部にヒーターを組み込んで、加温やエアー撹拌も可能です。シリコンウェハのチップへのめっきや、バンプめっき等の基礎実験に最適です。ウェハーチップ用治具が標準となります。
※ 水槽容量 M1:300mL, M2:500mL, M3:1000mL
セット内訳
(マイクロセルIw型の場合)
A-53-M1-P01W | マイクロセル(Ⅰw)水槽(ブスバー,保持治具,ピンセット付) | 1式 |
A-53-M1-P05WA | マイクロセルⅠw/Ⅱw 用ヒーター温度ヒューズ付WA型(DC48V,50W) | 1本 |
B-93-YTC300 | 温度調節器YTC300(AC100-230V,300W) | 1台 |
B-93-YTC-P03 | 温度調節器YTC用センサー止具(I型) | 1個 |
A-57-15100-P01A | YPP3,10A用リード線(2本チタンクリップ付,銅クリップ1付) | 1組 |
A-55-PCR200BWA1 | パドルカソードロッカー200BWA(B-75-P16Aコントローラー付) | 1台 |
A-53-M1-P061015 | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陰極治具(10×15㎜試験片用)ブスバーを除く | 1式 |
A-53-M1-P06-K1 | マイクロセル(Ⅰ)陰極治具用ブスバー(10×15㎜試験片用) | 1個 |
A-53-M1-P071015 | マイクロセル(Ⅰ/Ⅱ/Ⅲ共通)陽極治具(10×15㎜試験片用)ブスバーを除く | 1式 |
A-53-M1-P07-K1 | マイクロセル(Ⅰ)陽極治具用ブスバー(10×15㎜試験片用) | 1個 |
※YPPシリーズの電源をご購入の場合は温度調節機能/リード線が電源に付属します。
※ エアーポンプと陽極板は別売品です。
※めっき液販売しております。液量1L~ (B-89-EP 参照)
2020年5月1日 セット内訳変更いたしました。セットよりブスバー・保持具・ピンセットを除きました。
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