ウェハ用めっき装置, 電源
A-57-15031WA 超精密めっき用電源 YPP15031WA
特長
- 予測・計算機能が付いた最小分解能が 10μA の高性能なプログラマブル電源です。
- 日本語、英語、中国語に対応しています(*)。
- CEマーキングを実施しています。
機能
電源機能、温度調節機能、PC 制御、めっき実験予想(*)、データ収集解析(*)、拡張機能用スロット付き
(*)制御用ソフトPlate Laboratory ®が付属しています
用途
2〜4inch ウェハ半導体やセンサー、MEMS、微細バレル など
入力電圧 | AC100〜240V±10% (50/60Hz±5%) |
出力電圧/出力電流 | DC0 〜 15V, 0 〜 3A |
最小分解能 | 1mV , 10μA , 1μC |
温度調節機能 | AC100~240V 最大 1KVA (ON/OFF, PID 制御) |
外寸(設置寸法) | D396 × W260 × H221mm(突起部除く) |
本体重量 | 約10.4kg |
対応OS | Windows 8,10, 11対応 |
規格 | IEC61010-1,IEC61326-1,IEC61326-2-2,IEC61000-3-2, IEC61000-3-3,FCC Part 15 Subpart B |
関連商品
-
B-67 ハルセル® /筆めっき用直流電源(3A2型)
-
スマートセル® W型シリコンウェハ用組み合わせ例
シリコンウェハのチップやバンプめっきなどの基礎実験に最適なめっき水槽のセットです。オーバーフロー循環を利用し安定した電流分布を実現。
-
A-57-15101D ハルセル® /ウェハ用高性能電源YPP15101D
-
A-53-ST01WB マイクロセル W 型シリコンウェハ用セットYTC300
-
A-52-ST-P01A シリコンウェハ用水槽
2~12inchシリコンウェハ用のコンパクトなめっき水槽です実験や少量生産用として20年以上、世界中の研究機関で導入されています。
-
A-52-STD ウェハ用両面めっき装置
ウェハの両面めっき装置です(TSV、TSG 等)。φ2 ~8inch または50 ~ 200mm 角の角型サンプルにめっき可能です。ウェハ両面を1 台のパドル撹拌装置にて撹拌します。