電源
A-57-15101C ハルセル® /ウェハ用高性能電源YPP15101C
ハルセルの他、4～12inchウエハ等へのめっきにも対応できる高性能なプログラマブル電源です。
| 入力電圧 | AC100～200V±10％ |
| 周波数 | 50/60Hz±5％ |
| 出力電圧／出力電流 | DC0～15V , 0～10A |
| 最小分解能 | 1mV / 10mA / 1mC |
| 温度調節機能 | 1KW （ON/OFF,PID制御） |
| 外寸（設置寸法） | 396(D)x210(W)x221(H)mm（突起物除く） |
| 本体重量 | 7.6kg |
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