電源
A-57-15101D ハルセル® /ウェハ用高性能電源YPP15101D
ハルセルの他、4~12inchウエハ等へのめっきにも対応できる高性能なプログラマブル電源です。
PCに接続はできませんが、本体にプログラマブル機能があるので電流を段階的に変化させること等可能です。
※YPP15101Cからヒーターセンサー差し込み部の位置(前面に移動),ヒーター用電源供給コードおよび接続方法が変更となりました。
入力電圧 | AC100V±10% |
周波数 | 50/60Hz±5% |
出力電圧/出力電流 | DC0~15V、0~10A |
最小分解能 | 10mV / 10mA / 1mC |
温度調節機能 | AC100V、1kW (ON/OFF,PID制御) |
タイマー機能 | 時間(秒)、積算電流(クーロン) |
外寸(設置寸法) | 396(D)x210(W)x221(H)mm(突起部除く) |
本体重量 | 約7.6kg |
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