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B-72WJ-SG ひずみゲージ式精密応力計

基板のひずみをセンサーによって計測することで、めっき内部応力をリアルタイムに測定します。

一度の測定で各めっき時間( 皮膜厚さ) での応力を測ることが可能です。また、一度めっきを施した膜上に再度めっきを行う際の応力測定もできます。従来の応力計では分からなかった、微細な応力を測定することができます。精密めっき電源YPPシリーズのスロットに、専用の応力計ボードを挿入して使用します。

特長

● JIS H8626 規格に準拠しています。
● 弱い応力でも測定可能です。フィルムやウェハ等の微弱な製品の測定に適しています。(膜厚0.5μm以上から精密測定可)
● 他の方式では測れない初期の応力も測ることが出来ます。
● 微細部品に適しています。
● センサーで得られたデータは電源に接続されたPCに即座に入力され、計算をしなくてもPC で自動的に応力値を算出します。また、測定中のデータは、パソコンを利用してリアルタイムで表示・蓄積されます。

関連論文 

めっき皮膜の応力測定法 

電源及び応力測定ボード部の仕様

入力電圧
AC100~200V±10% (50/60Hz±5%)
出力電圧/出力電流DC0~15V / 0~10A
最小分解能1mA / 10mV / 0.1mC
温度調節機能1KW (ON/OFF制御 / PID制御) 
本体重量8.8KG
対応OSWindows8,10対応

セット内訳

製品番号 製品名 個数
B-72-SG-P01W ひずみゲージ式精密応力計用水槽 (MODEL-w) 1個
B-72-SG-P02 ひずみゲージ式精密応力計用治具ホルダー(アノードバック付) 1式
B-72-SG-P03-1 ひずみゲージ式精密応力計用試験片(銅)5枚入 1式
B-72-SG-P04 ひずみゲージ式精密応力計試験片用保温管 1本
B-50-KTSG121513 ステンレスGタイプ止具(幅12㎜×15φ13) 1個
B-72-SG-P06 ひずみゲージ式精密応力計用陽極板セット
(含燐銅、ニッケル、SKニッケル、高純度錫(三菱電解錫)各1枚)
1組
B-58WJB ハルセル用ヒーター温度ヒューズ付WJB型(AC100V,100W) 1本
B-72-SG-P07 ひずみゲージ式精密応力計用エアーパイプ 1本
B-57A ハルセル用エアーポンプA(AC100V) 1個
B-62A スターラー(固定台付)(マイクロバレル、スマートハルセル、スマートセル対応) 1式
B-93-YTC-P04 YTC,YPP用温度センサー(ショート)全長190mm 1本
B-93-YTC-P02 温度調節器YTC用温度センサー止具(L型) 1個
A-52-P18 エアーフィルター 1個
A-57-15100-1B ひずみゲージ式精密応力計用ボード 1台
A-57-15100WA-J ウェハ用精密めっき電源 YPP15100WA-J(1mA~10A) 1台
A-57-15031WA-J 超精密めっき用電源 YPP15031WA-J(10μA~3A)

※セットになる電源によって製品番号末尾が異なります。
 YPP15100WA電源付セット :B-72WJ-SG-100W 
 YPP15031WA電源付セット :B-72WJ-SG-031W

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製品カテゴリ

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    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等
  2. 応力測定器

    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計
  3. 均一電着性試験器

    ハーリングセル、ベントカソード
  4. 分析器

    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター
  5. ウェハめっき装置

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