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A-52-ST-P01A　シリコンウェハ用水槽

2～12inchシリコンウェハ用のめっきに適した水槽です。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造です。

片面めっき用のサイズで、アクリルとPP製の２種類ございます。両面めっき用はA-52-STD ウェハ用両面めっき装置をご覧ください。

仕様

製品番号ウェハサイズ寸法（内寸）mm水槽容量材質耐熱温度
A-52-ST2-P01A2inchD100×W100×H100約1.5Lアクリル65℃
A-52-ST4-P01A4inch　D140×W140×H140約4.0Lアクリル65℃
A-52-ST6-P01BW6inchD210×W210×H210約13Lアクリル65℃
A-52-ST8-P01BW8inch　D280×W280×H280約28Lアクリル65℃
A-52-ST12-P01A12inchD230×W386×H420約47Lアクリル65℃
A-52-ST2-P01A-12inchD100×W100×H100約1.5LPP80℃
A-52-ST4-P01A-14inchD140×W140×H140約4.0LPP80℃
A-52-ST6-P01BW16inchD210×W210×H210約13LPP80℃
A-52-ST8-P01BW18inchD280×W280×H280約28LPP80℃
A-52-ST12-P01A112inchD230×W386×H420約47LPP80℃

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製品カテゴリ

  1. ハルセル
    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等

  2. 応力測定器
    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計

  3. 均一電着性試験器
    ハーリングセル、ベントカソード

  4. めっき液分析器
    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター

  5. ウェハめっき装置
    ウェハ水槽、治具、両面めっき用

  6. バレルめっき装置
    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール

  7. 小型めっき装置
    ビーカーサイズから20Lまでのめっき装置セット

  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ

  9. ろ過器
    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ

  10. 揺動装置
    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー

  11. 水槽
    様々なサイズ・材質があります

  12. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター、CE対応温度調節器

  13. 止具・治具
    水槽止具、引掛治具、クリップ
    ブスバー

  14. 極板・アノードバック
    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等

  15. 筆めっき
    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
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