ウェハ用めっき装置
B-90-AVS-10 真空脱泡器AUVACS
空気を吸引することで減圧または真空の状態を作ります。吸引式密閉治具や減圧水槽と組み合わせて使用できます。
また、液漏れセンサー付きで万が一液を吸い込んでも自動的に停止します。
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