LIGA用精密めっき装置

LIGAにてパターニングしたウェハ用に作製しためっき装置です。電鋳めっきに対応した工夫がされています。

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     μLサイズの小型めっき装置 電解液を流しながら通電し、反応面(析出面)を上部から観察できる超小型めっき槽です。 ラマン分光分析を使っためっき反応界面の観察に実績があります。 (写真:早稲田大学 本間敬之教授と共同特許取得品)

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  5. A-64 予備槽付きめっき装置

  6. 磁場中めっき装置

製品カテゴリ

  1. ハルセル
    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等
  2. 応力測定器
    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計
  3. 均一電着性試験器
    ハーリングセル、ベントカソード
  4. めっき液分析器
    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター
  5. ウェハめっき装置
    ウェハ水槽、治具、両面めっき用
  6. バレルめっき装置
    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール
  7. 小型めっき装置
    ビーカーサイズから20Lまでのめっき装置セット
  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ
  9. ろ過器
    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ
  10. 揺動装置
    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー
  11. 水槽
    様々なサイズ・材質があります
  12. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター、CE対応温度調節器
  13. 止具・治具
    水槽止具、引掛治具、クリップ
    ブスバー
  14. 極板・アノードバック
    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等
  15. 筆めっき
    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
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