A-52-ST-EL ウェハ用無電解めっき装置

シリコンウェハ上や板状サンプルに無電解めっきを行う装置です。1枚~複数枚のウェハを回転させながら上下に揺動させてめっきします。
回転速度と上下揺動速度はそれぞれ調節できます。洗浄工程等めっき以外の用途にもお使いいただけます。

セミカスタマイズ製品なのでサンプル形状や大きさ、一度に処理したい枚数などをお知らせください。

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製品カテゴリ

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    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等
  2. 応力測定器
    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計
  3. 均一電着性試験器
    ハーリングセル、ベントカソード
  4. めっき液分析器
    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター
  5. ウェハめっき装置
    ウェハ水槽、治具、両面めっき用
  6. バレルめっき装置
    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール
  7. 小型めっき装置
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  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ
  9. ろ過器
    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ
  10. 揺動装置
    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー
  11. 水槽
    様々なサイズ・材質があります
  12. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター、CE対応温度調節器
  13. 止具・治具
    水槽止具、引掛治具、クリップ
    ブスバー
  14. 極板・アノードバック
    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等
  15. 筆めっき
    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
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