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ウェハ用陽極板

ウェハ用水槽に合わせたサイズの陽極板です。
陽極ホルダーと合わせてご使用ください。
 

サイズ

ウェハサイズ 陽極サイズ(mm) 製品番号
2inch 60x170xt2 A-52-ST2-P08
4inch 106×200xt2 A-52-ST4-P08
6inch 160×275xt2 A-52-ST6-P08
8inch 200×350xt2 A-52-ST8-P08
マイクロセルⅠ 59×95xt2 A-53-M1-P08
マイクロセルⅡ 74×105xt2 A-53-M2-P08
マイクロセルⅢ 94×140xt2 A-53-M3-P08
10×15 28×120xt2 A-53-M1-P81
30X30 44×145xt2 A-53-M3-P81
 

材質

製品番号(*1) 製品名
A-52-ST□-P08-02 住友電解ニッケル
A-52-ST□-P08-07 住友SKニッケル
A-52-ST□-P08-08 含燐銅
A-52-ST□-P08-10 無酸素銅(電気銅)
A-52-ST□-P08-12 高純度錫(三菱電解錫)
A-52-ST□-P08-18 チタン白金
A-52-ST□-P08-28 チタンイリジウム(硫酸銅用)
A-52-ST□P08-28-2 チタンイリジウム(金・3価クロム他用)
(*1) □にはウェハサイズが入ります。
(*2) 他の材質の陽極板も製作できます。お問い合わせください。
 

製品カテゴリ

  1. ハルセル

    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等
  2. 応力測定器

    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計
  3. 均一電着性試験器

    ハーリングセル、ベントカソード
  4. 分析器

    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター
  5. ウェハめっき装置

    ウェハ水槽、治具、両面めっき用
  6. バレルめっき装置

    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール
  7. めっき装置

    ビーカーサイズから20Lまでのめっき装置セット
  8. 電源

    アナログタイプやPC制御タイプ  
  9. ろ過器

    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ
  10. 揺動装置

    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー
  11. 水槽

    様々なサイズ・材質があります
  12. ヒーター・温度調節器

    小型ヒーター CE対応温度調節器
  13. 止具・治具

    水槽止具、引掛治具、クリップ、ブスバー
  14. 極板・アノードバック

    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等
  15. 筆めっき

    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
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