
製品情報
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A-52-ST-EL ウェハ用無電解めっき装置
シリコンウェハや板状サンプルに無電解めっきを行う装置です。1枚~複数枚のウェハを回転させながら上下に揺動させてめっきをおこないます。サンプルの洗浄などにも使用できます。
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ウェハ用両面めっき装置
ウェハの両面めっき装置です(TSV、TSG 等)。φ2 ~8inch または50 ~ 200mm 角の角型サンプルにめっき可能です。ウェハ両面を1 台のパドル撹拌装置にて撹拌します。
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A-52 シリコンウェハ用めっき実験装置セット
2~12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。 専用の治具を使用することで、半導体・MEMS・マイクロマシンの精密なめっきが行なえます。
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ハルセル水槽一覧
材質、サイズにより17種類の水槽をご用意しています。
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B-73-1000 ミニバレル1000(1L-Type)
従来製品よりもドラム容量を多くした水平バレル装置です。主素材PP樹脂ですので、処理温度約90℃まで使用でき、約1Lのサンプル量が一度に処理できます。ブレーカーを内蔵した専用コントローラーが付属します。
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傾斜バレル鯱鉾ミニWJ型精密ろ過セット(B-76-KWMNWJ-ST1)
【貴金属めっき用に小型化】小型傾斜バレル鯱鉾ミニに合わせた5.5Lのオーバーフロー水槽とろ過器、温調機能付のセットです。