水槽
A-52-ST-P01A シリコンウェハ用水槽
2～12inchシリコンウェハ用のめっきに適した水槽です。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造です。アクリル以外の材質でも製作いたしますので、お問合せください。
| 寸法（内寸）/容量 | 型式 | 寸法（内寸） | 水槽容量 |
| 2inch | 100(D)×100(W)×100(H)mm | 約1.5L | |
| 4inch | 140(D)×140(W)×140(H)mm | 約4.0L | |
| 5inch | 160(D)×160(W)×160(H)mm | 約7.5L | |
| 6inch | 210(D)×210(W)×210(H)mm | 約13L | |
| 8inch | 280(D)×280(W)×280(H)mm | 約28L | |
| 水槽材質 | アクリル製 | ||
| 耐熱温度 | 65℃ | ||
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