ウェハ用めっき装置, 揺動装置
A-52-ST-P04D パドル撹拌装置
サンプルの近傍を撹拌する装置で、2~8inchサイズの片面めっきに対応しています。
両面用や12inch用は受注生産にて製作いたします。
特長
- めっきの析出均一性が向上
パドルによりサンプル表面を効果的に撹拌し、それにより拡散層が安定化することでめっきの析出均一性が向上がします。 - 穴形状のサンプルにも積極的にイオンを供給
ビア、スルーホールやトレンチのような穴形状のサンプルでは、撹拌による穴内
部への積極的なイオン供給で濃度過電圧上昇を抑え、ボイド等欠陥のない良好な埋め込みが期待されます。 - 国際規格に適合
IEC61010-1に適合しており、EU・DUタイプとEW・DWタイプはCEマーキングを実施しておりEN61326-1にも適合しています。2inchタイプ 3,4inchタイプ 5,6inchタイプ 8inchタイプ 製品番号 A-52-ST2-P04E A-52-ST4-P04D A-52-ST6-P04D A-52-ST8-P04D 水平ストローク 30~50mm (*1) 30~96mm 30~150mm 外寸(設置寸法) 210 (D)×180 (W)×275 (H) mm 210 (D)×180 (W)×290 (H) mm 290 (D)×270 (W)×380 (H) mm 290 (D)×270 (W)×470 (H) mm 本体重量(*2) E : 6.0kg
EU, EW:6.5kgD : 6.0kg
DU, DW:6.5kgD:12.9kg
DU,DW:13.4kgD:13.4kg
DU,DW:13.9kg回転数 0~130 RPM 入力電圧(*2) E: AC100-120V
EU: AC100-120V
EW: AC200-240VD: AC100-120V /
DU: AC100-120V /
DW: AC200-240V定格出力 30W
(*1) 部品追加により最大96mm
(*2) 入力電圧の違いにより、E・Dタイプ、EU・DUタイプ、EW・DWタイプの3種類あります。
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