ウェハ用陽極ホルダー

シリコンウェハ用の陽極ホルダーです。標準型および密閉型にはアノードバックが付属します。
可溶性陽極の場合は標準タイプ、不溶性陽極の場合は隔膜式をご使用ください。
アクリルは耐熱温度65℃までPPS 製は80℃までご使用いただけます。

特長

  • 湿式のめっきを想定したシリコンウェハ用めっき実験装置専用の陽極治具です。
  • 半導体・MEMS・陽極酸化など精密なめっきが行えます。
  • 2～12inchサイズ実験用、少量生産用に最適です。
  • 前面の陽極ホルダー押さえを付け替えることで、小さいサイズのウェハも兼用して使用できます。

種類

以下の3種類の陽極ホルダーがございます。使用する陰極カートリッジのタイプに合わせてお選びください。6inch以上はオリフラ式とノッチ式から形状をご指定ください。その他のサイズ

タイプ 標準型 密閉型 隔膜式
標準サイズ 2~12inch 2~12inch 2~12inch
材質 アクリル PPS アクリル
耐熱温度 65℃ 80℃ 65℃
用途 ・標準型陰極カートリッジ用
・可溶性陽極用		 ・密閉型陰極カートリッジ用
・可溶性陽極用		 ・不溶性陽極用

注意事項

  • オリフラ式とノッチ式の陰極カートリッジがございます。ご注文時にご指定ください。
  • 特注にて両面めっき用治具、フレキ基板用治具も製作可能です。

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製品カテゴリ

  1. ハルセル
    ハルセル試験用水槽、極板、付属部品等

  2. 応力測定器
    スパイラル応力計、ひずみゲージ式精密応力計

  3. 均一電着性試験器
    ハーリングセル、ベントカソード

  4. めっき液分析器
    滴定分析器、サルファメーター、トリクロムメーター

  5. ウェハめっき装置
    ウェハ水槽、治具、両面めっき用

  6. バレルめっき装置
    水平バレル、傾斜バレル、ダミーボール

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  8. 電源
    アナログタイプやPC制御タイプ

  9. ろ過器
    ミニミニフィルター、マルチフィルター、エアーポンプ

  10. 揺動装置
    縦型揺動装置、3D揺動装置、カソードロッカー

  11. 水槽
    様々なサイズ・材質があります

  12. ヒーター・温度調節器
    小型ヒーター、CE対応温度調節器

  13. 止具・治具
    水槽止具、引掛治具、クリップ
    ブスバー

  14. 極板・アノードバック
    陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等

  15. 筆めっき
    筆具、筆めっき液、送液ポンプ
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