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ウェハ用陰極カートリッジ

特長

  • 湿式のめっきを想定したシリコンウェハ用めっき実験装置専用の治具です。
  • 半導体・MEMS・LIGAなど精密なめっきが行えます。
  • 面内の膜厚バラつきは±3~5%以内と均一電着性に優れています。
  • 特注にて両面ウェハめっき用治具にも対応いたします。

種類

標準型と密閉型、吸引密閉型の3種類の陰極カートリッジがございます。
お手持ちのウェハのサイズや、めっき膜厚などによりお選びください。
 
タイプ標準型密閉式吸引密閉式
概要・一般的な厚さのウェハに適しています。
・電極リングの接点(凸部)にもめっきが析出致します。
・定期的に接点部めっき皮膜の剥離が必要です。
・接点部やウェハの裏側に液回りしません。
・陽極酸化用の治具としても使用できます。
・接点部やウェハの裏面に液回りしません。
・陽極酸化用の治具としても使用できます。
・破損しやすい薄ウェハに適しています。
空気で吸引することにより均一に固定することができます。(真空脱法器と併用して使用します。)
・500μm以上の厚いめっきにも対応可能です。
対応ウェハサイズ2~12inch2~4inch4~12inch
ウェハの厚み200μm以上200μm以上100μm以上
めっき膜厚20μ未満まで対応20μ以上にも対応20μ以上にも対応
耐熱温度0〜65℃0〜65℃0〜80℃
材質アクリル
SUS304他
アクリル
SUS304他
PPS
SUS304他
 

注意事項

  • ウェハサイズはJEITAおよびSEMI規格に合わせて製作しております。
  • オリフラ式とノッチ式の陰極カートリッジがございます。
  • 密閉型および吸引式密閉型は日本、アメリカ、欧州、中国、韓国、台湾にて特許取得しております。

特注製作

当社ではお客様のサンプルに合わせて1点から治具を特注製作しています。
以下のような場合は特注にて設計いたしますのでお気軽にお問合せください。

  • 丸型、角型、丸型をカットした扇形、半円形等形状が特殊な場合
  • JEITA,SEMI規格以外の厚さのサンプルを使用する場合
  • 一つの治具で複数のサンプルの処理したい場合
  • 両面めっき用治具、フレキ基板用治具が必要な場合

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製品カテゴリ

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  3. 均一電着性試験器

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  4. 分析器

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