ウェハ用めっき装置
ウェハ用陰極カートリッジ
特長
- 湿式のめっきを想定したシリコンウェハ用めっき実験装置専用の治具です。
- 半導体・MEMS・LIGAなど精密なめっきが行えます。
- 面内の膜厚バラつきは±3~5%以内と均一電着性に優れています。
- 特注にて両面ウェハめっき用治具にも対応いたします。
種類
標準型と密閉型、吸引密閉型の3種類の陰極カートリッジがございます。
お手持ちのウェハのサイズや、めっき膜厚などによりお選びください。
| タイプ | 標準型 | 密閉式 | 吸引密閉式 | 標準型（高電流タイプ） |
 |  |  |  |
|
| 概要 | ・一般的な厚さのウェハに適しています。 ・電極リングの接点（凸部）にもめっきが析出します。 ・定期的に接点部めっき皮膜の剥離が必要です。 | ・接点部やウェハの裏側に液回りしません。 ・陽極酸化用の治具としても使用できます。 | ・接点部やウェハの裏面に液回りしません。 ・陽極酸化用の治具としても使用できます。 ・破損しやすい薄ウェハに適しています。 真空脱泡器と併用して空気で吸引することにより密閉度を高めることができます。 ・500μm以上の厚いめっきにも対応可能です。 | ・一般的な厚さのウェハに適しています。 ・高速めっき等、通常よりも高めの電流密度設定が可能です。 ・全面めっきで全電流を大きくしたい場合に適しています。 ・電極リングの接点（面接点）にもめっきが析出しますので、定期的に接点部めっき皮膜の剥離が必要でし。 |
| 対応ウェハサイズ | 2～12inch | 2~4inch | 4～12inch | 4～8inch |
| ウェハの厚み | 200μm以上 | 200μm以上 | 100μm以上 | 200μm以上 |
| めっき膜厚 | 20μ未満まで対応 | 20μ以上にも対応 | 20μ以上にも対応 | 20μm未満 |
| 耐熱温度 | 0〜65℃ | 0〜65℃ | 0〜80℃ | 0〜65℃ |
| 材質 | アクリル SUS304他 | アクリル SUS304他 | PPS SUS304他 | アクリル SUS304他 |
注意事項
- ウェハサイズはJEITAおよびSEMI規格に合わせて製作しております。
- オリフラ式とノッチ式の陰極カートリッジがございます。
- 密閉型および吸引式密閉型は日本、アメリカ、欧州、中国、韓国、台湾にて特許取得しております。
特注製作
当社ではお客様のサンプルに合わせて1点から治具を特注製作しています。
以下のような場合は特注にて設計いたしますのでお気軽にお問合せください。
- 丸型、角型、丸型をカットした扇形、半円形等形状が特殊な場合
- JEITA,SEMI規格以外の厚さのサンプルを使用する場合
- 一つの治具で複数のサンプルの処理したい場合
- 両面めっき用治具、フレキ基板用治具が必要な場合
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極板・アノードバック陽極板、陰極板、各種試験片、アノードバック、隔膜ホルダー等
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筆めっき筆具、筆めっき液、送液ポンプ
